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ケーエルエー−テンカー コーポレイション

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  2014年 出願公開件数ランキング    第514位 67件 上昇2013年:第700位 49件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第1030位 27件 下降2013年:第850位 36件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5529806 異なる検査パラメータを使用する試験片の検査のための方法とシステム 2014年 6月25日
特許 5519106 能力が向上した表面検査システム 2014年 6月11日
特許 5495555 非球面を使用した小型で超高NAの反射屈折対物レンズ 2014年 5月21日
特許 5469688 散乱計測マーク、ターゲット構造、計測用システム、およびオーバーレイ誤差等の決定方法 2014年 4月16日
特許 5466264 検査データと組み合わせて設計データを使用するための方法及びシステム 2014年 4月 9日
特許 5465880 検査データと組み合わせて設計データを使用するための方法及びシステム 2014年 4月 9日
特許 5443759 オーバレイ測定におけるマイクロターゲットの設計と使用のための方法と装置 2014年 3月19日
特許 5448923 マルチチャネルデータのグラフィック表現を用いて基板の表面において生じる欠陥を分類するための方法 2014年 3月19日
特許 5438700 統合化されたプロセス条件検知用ウェハおよびデータ解析システム 2014年 3月12日
特許 5438064 統合利用のために改良された検査システム 2014年 3月12日
特許 5425494 不良検出システムの改良 2014年 2月26日
特許 5390853 表面検査システム 2014年 1月15日

27 件中 16-27 件を表示

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5529806 5519106 5495555 5469688 5466264 5465880 5443759 5448923 5438700 5438064 5425494 5390853

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