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キヤノンアネルバ株式会社

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  2013年 出願公開件数ランキング    第724位 46件 下降2012年:第347位 119件)

  2013年 特許取得件数ランキング    第654位 50件 上昇2012年:第926位 32件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2013-239446 放電容器用の閉塞端部 2013年11月28日
特開 2013-232470 半導体装置およびその製造方法 2013年11月14日
再表 2012-20556 基板加熱処理装置、基板加熱処理装置の温度制御方法、半導体デバイスの製造方法、基板加熱処理装置の温度制御プログラム及び記録媒体 2013年10月28日
再表 2012-23156 基板搬送装置、電子デバイスの製造システムおよび電子デバイスの製造方法 2013年10月28日
再表 2012-11149 電力導入装置及び電力導入装置を用いた真空処理装置 2013年 9月 9日
特開 2013-177975 ラック・アンド・ピニオン機構及び真空処理装置 2013年 9月 9日
特開 2013-174020 スパッタ装置 2013年 9月 5日
再表 2011-162036 スパッタリング装置、成膜方法、および制御装置 2013年 8月19日
再表 2011-155390 発振素子および発振素子の製造方法 2013年 8月 1日
特開 2013-147737 スパッタ装置、スパッタ装置の制御装置、および成膜方法 2013年 8月 1日
特開 2013-139642 スパッタ成膜応用のためのプラズマ処理装置 2013年 7月18日
再表 2011-136016 エピタキシャル膜形成方法、真空処理装置、半導体発光素子の製造方法、半導体発光素子、照明装置 2013年 7月18日
特開 2013-133477 成膜装置 2013年 7月 8日
特開 2013-129479 基板搬送装置 2013年 7月 4日
特開 2013-129884 蓋開閉装置 2013年 7月 4日

46 件中 1-15 件を表示

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2013-239446 2013-232470 2012-20556 2012-23156 2012-11149 2013-177975 2013-174020 2011-162036 2011-155390 2013-147737 2013-139642 2011-136016 2013-133477 2013-129479 2013-129884

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