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■ 2013年 出願公開件数ランキング 第724位 46件 (2012年:第347位 119件)
■ 2013年 特許取得件数ランキング 第654位 50件 (2012年:第926位 32件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2013-239446 | 放電容器用の閉塞端部 | 2013年11月28日 | |
特開 2013-232470 | 半導体装置およびその製造方法 | 2013年11月14日 | |
再表 2012-20556 | 基板加熱処理装置、基板加熱処理装置の温度制御方法、半導体デバイスの製造方法、基板加熱処理装置の温度制御プログラム及び記録媒体 | 2013年10月28日 | |
再表 2012-23156 | 基板搬送装置、電子デバイスの製造システムおよび電子デバイスの製造方法 | 2013年10月28日 | |
再表 2012-11149 | 電力導入装置及び電力導入装置を用いた真空処理装置 | 2013年 9月 9日 | |
特開 2013-177975 | ラック・アンド・ピニオン機構及び真空処理装置 | 2013年 9月 9日 | |
特開 2013-174020 | スパッタ装置 | 2013年 9月 5日 | |
再表 2011-162036 | スパッタリング装置、成膜方法、および制御装置 | 2013年 8月19日 | |
再表 2011-155390 | 発振素子および発振素子の製造方法 | 2013年 8月 1日 | |
特開 2013-147737 | スパッタ装置、スパッタ装置の制御装置、および成膜方法 | 2013年 8月 1日 | |
特開 2013-139642 | スパッタ成膜応用のためのプラズマ処理装置 | 2013年 7月18日 | |
再表 2011-136016 | エピタキシャル膜形成方法、真空処理装置、半導体発光素子の製造方法、半導体発光素子、照明装置 | 2013年 7月18日 | |
特開 2013-133477 | 成膜装置 | 2013年 7月 8日 | |
特開 2013-129479 | 基板搬送装置 | 2013年 7月 4日 | |
特開 2013-129884 | 蓋開閉装置 | 2013年 7月 4日 |
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2013-239446 2013-232470 2012-20556 2012-23156 2012-11149 2013-177975 2013-174020 2011-162036 2011-155390 2013-147737 2013-139642 2011-136016 2013-133477 2013-129479 2013-129884
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