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■ 2019年 出願公開件数ランキング 第1815位 13件
(2018年:第1925位 11件)
■ 2019年 特許取得件数ランキング 第1904位 8件
(2018年:第3972位 3件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6619228 | イオン注入における注入に誘導される損傷制御 | 2019年12月11日 | |
特許 6599374 | 高処理能力の加熱イオン注入システムおよび方法 | 2019年10月30日 | |
特許 6590819 | 一定質量流量多層冷却液経路静電チャック | 2019年10月16日 | |
特許 6590820 | 広温度範囲チャックに対する複数流体冷却システム | 2019年10月16日 | |
特許 6545694 | 多用途の静電クランプの動作のための様々な電極パターン | 2019年 7月17日 | |
特許 6526661 | ビームの横断強度分布を測定するための方法 | 2019年 6月 5日 | |
特許 6484247 | 走査されたビームイオン注入におけるビームの利用を向上させるための方法 | 2019年 3月13日 | |
特許 6469700 | イオン注入システムのための、金属汚染が微量に低減されたイオン源 | 2019年 2月13日 |
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6619228 6599374 6590819 6590820 6545694 6526661 6484247 6469700
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