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アクセリス テクノロジーズ, インコーポレイテッド

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  2019年 出願公開件数ランキング    第1815位 13件 上昇2018年:第1925位 11件)

  2019年 特許取得件数ランキング    第1904位 8件 上昇2018年:第3972位 3件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6619228 イオン注入における注入に誘導される損傷制御 2019年12月11日
特許 6599374 高処理能力の加熱イオン注入システムおよび方法 2019年10月30日
特許 6590819 一定質量流量多層冷却液経路静電チャック 2019年10月16日
特許 6590820 広温度範囲チャックに対する複数流体冷却システム 2019年10月16日
特許 6545694 多用途の静電クランプの動作のための様々な電極パターン 2019年 7月17日
特許 6526661 ビームの横断強度分布を測定するための方法 2019年 6月 5日
特許 6484247 走査されたビームイオン注入におけるビームの利用を向上させるための方法 2019年 3月13日
特許 6469700 イオン注入システムのための、金属汚染が微量に低減されたイオン源 2019年 2月13日

8 件中 1-8 件を表示

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6619228 6599374 6590819 6590820 6545694 6526661 6484247 6469700

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