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■ 2020年 出願公開件数ランキング 第2114位 10件
(2019年:第1815位 13件)
■ 2020年 特許取得件数ランキング 第1368位 13件
(2019年:第1904位 8件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 6802277 | 改善されたイオン源のカソードシールド | 2020年12月16日 | |
特許 6779880 | 走査ビーム注入器のためのビームプロファイリング速度の向上 | 2020年11月 4日 | |
特許 6755249 | 複合型の多極磁石および双極子走査磁石 | 2020年 9月16日 | |
特許 6755299 | 高スループットな冷却されたイオン注入システムおよび方法 | 2020年 9月16日 | |
特許 6741664 | 振動特性または音響特性の解析に基づくウェハのクランプ検出 | 2020年 8月19日 | |
特許 6741667 | ハイブリッド走査型イオンビーム注入器の生産性を向上させるためのシステムおよび方法 | 2020年 8月19日 | |
特許 6716254 | 静電クランプの健全性の監視に基づく電荷の積分 | 2020年 7月 1日 | |
特許 6709211 | ワークピースを静電クランプするためのシステムおよび方法 | 2020年 6月10日 | |
特許 6705889 | カム作動のフィラメントクランプ | 2020年 6月 3日 | |
特許 6699973 | 垂直ビーム角度デバイスを有するイオン注入システムにおける垂直ビームプロファイルの測定方法 | 2020年 5月27日 | |
特許 6699974 | イオン注入用の複合静電レンズシステム | 2020年 5月27日 | |
特許 6632994 | 角度エネルギフィルタを用いた角度スキャン | 2020年 1月22日 | |
特許 6634021 | 可変エネルギー制御を伴うイオン注入システムおよび方法 | 2020年 1月22日 |
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6802277 6779880 6755249 6755299 6741664 6741667 6716254 6709211 6705889 6699973 6699974 6632994 6634021
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3月26日(水) -
3月26日(水) -
3月26日(水) -
3月26日(水) -
3月24日(月) -
4月1日(火) - 山口 山口市
4月1日(火) -
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