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アクセリス テクノロジーズ, インコーポレイテッド

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  2020年 特許取得件数ランキング    第1368位 13件 上昇2019年:第1904位 8件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6802277 改善されたイオン源のカソードシールド 2020年12月16日
特許 6779880 走査ビーム注入器のためのビームプロファイリング速度の向上 2020年11月 4日
特許 6755249 複合型の多極磁石および双極子走査磁石 2020年 9月16日
特許 6755299 高スループットな冷却されたイオン注入システムおよび方法 2020年 9月16日
特許 6741664 振動特性または音響特性の解析に基づくウェハのクランプ検出 2020年 8月19日
特許 6741667 ハイブリッド走査型イオンビーム注入器の生産性を向上させるためのシステムおよび方法 2020年 8月19日
特許 6716254 静電クランプの健全性の監視に基づく電荷の積分 2020年 7月 1日
特許 6709211 ワークピースを静電クランプするためのシステムおよび方法 2020年 6月10日
特許 6705889 カム作動のフィラメントクランプ 2020年 6月 3日
特許 6699973 垂直ビーム角度デバイスを有するイオン注入システムにおける垂直ビームプロファイルの測定方法 2020年 5月27日
特許 6699974 イオン注入用の複合静電レンズシステム 2020年 5月27日
特許 6632994 角度エネルギフィルタを用いた角度スキャン 2020年 1月22日
特許 6634021 可変エネルギー制御を伴うイオン注入システムおよび方法 2020年 1月22日

13 件中 1-13 件を表示

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6802277 6779880 6755249 6755299 6741664 6741667 6716254 6709211 6705889 6699973 6699974 6632994 6634021

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