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アクセリス　テクノロジーズ，　インコーポレイテッド

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アクセリス　テクノロジーズ，　インコーポレイテッドの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 6802277	改善されたイオン源のカソードシールド	2020年12月16日
特許 6779880	走査ビーム注入器のためのビームプロファイリング速度の向上	2020年11月 4日
特許 6755249	複合型の多極磁石および双極子走査磁石	2020年 9月16日
特許 6755299	高スループットな冷却されたイオン注入システムおよび方法	2020年 9月16日
特許 6741664	振動特性または音響特性の解析に基づくウェハのクランプ検出	2020年 8月19日
特許 6741667	ハイブリッド走査型イオンビーム注入器の生産性を向上させるためのシステムおよび方法	2020年 8月19日
特許 6716254	静電クランプの健全性の監視に基づく電荷の積分	2020年 7月 1日
特許 6709211	ワークピースを静電クランプするためのシステムおよび方法	2020年 6月10日
特許 6705889	カム作動のフィラメントクランプ	2020年 6月 3日
特許 6699973	垂直ビーム角度デバイスを有するイオン注入システムにおける垂直ビームプロファイルの測定方法	2020年 5月27日
特許 6699974	イオン注入用の複合静電レンズシステム	2020年 5月27日
特許 6632994	角度エネルギフィルタを用いた角度スキャン	2020年 1月22日
特許 6634021	可変エネルギー制御を伴うイオン注入システムおよび方法	2020年 1月22日

13 件中 1-13 件を表示

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6802277 6779880 6755249 6755299 6741664 6741667 6716254 6709211 6705889 6699973 6699974 6632994 6634021

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