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アクセリス テクノロジーズ， インコーポレイテッド
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■ 2022年 出願公開件数ランキング 第1474位 16件
（
2021年：第2561位 8件）
■ 2022年 特許取得件数ランキング 第2054位 9件
（
2021年：第2016位 8件）
（ランキング更新日：2025年3月21日）筆頭出願人である出願のみカウントしています
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アクセリス テクノロジーズ， インコーポレイテッドの商標一覧| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 7183151 | 調整可能な周辺静電クランプ | 2022年12月 5日 | |
| 特許 7171562 | 炭素注入用の三フッ化リン複合ガス | 2022年11月15日 | |
| 特許 7154236 | イオン注入システムにおける注入角度を補正するための方法、およびイオン注入システム | 2022年10月17日 | |
| 特許 7097893 | 放射加熱プレソーク | 2022年 7月 8日 | |
| 特許 7091254 | ランタン入りタングステンイオン源およびビームラインコンポーネント | 2022年 6月27日 | |
| 特許 7050053 | 走査イオン注入システムにおけるインサイチュでのイオンビーム電流の監視および制御 | 2022年 4月 7日 | |
| 特許 7033086 | アルミニウム原子イオンを生成するための固体ヨウ化アルミニウム（ＡＬＩ３）を用いた注入およびヨウ化アルミニウムとそれに関連付けられた副産物のインサイチュクリーニング | 2022年 3月 9日 | |
| 特許 7033135 | 高速作動するシャッター動作を伴う２軸可変幅質量分解開口 | 2022年 3月 9日 | |
| 特許 6997108 | ウェハ冷却方法 | 2022年 1月17日 |
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7183151 7171562 7154236 7097893 7091254 7050053 7033086 7033135 6997108
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