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■ 2015年 出願公開件数ランキング 第35位 1086件 (2014年:第27位 1289件)
■ 2015年 特許取得件数ランキング 第42位 547件 (2014年:第25位 1361件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 5804154 | オートフォーカス光学装置、顕微鏡 | 2015年11月 4日 | |
特許 5804299 | 露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法 | 2015年11月 4日 | |
特許 5804301 | 露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法 | 2015年11月 4日 | |
特許 5804302 | 露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法 | 2015年11月 4日 | |
特許 5804368 | パターン形成方法及びデバイス製造方法 | 2015年11月 4日 | |
特許 5804441 | 顕微鏡システム | 2015年11月 4日 | |
特許 5799514 | 撮像装置 | 2015年10月28日 | |
特許 5799991 | 液浸リソグラフィにおける光学素子の洗浄方法 | 2015年10月28日 | |
特許 5799993 | 基板接合装置及び基板接合方法 | 2015年10月28日 | |
特許 5800257 | 露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法 | 2015年10月28日 | |
特許 5796292 | エンコーダの取り付け方法 | 2015年10月21日 | |
特許 5796388 | 焦点検出装置および撮像装置 | 2015年10月21日 | |
特許 5796466 | 撮影レンズ及びこの撮影レンズを有する撮像装置 | 2015年10月21日 | |
特許 5796793 | 望遠鏡光学系及び光学機器 | 2015年10月21日 | |
特許 5798721 | 基板位置合せ装置、基板貼り合せ装置、基板位置合せ方法および積層半導体の製造方法 | 2015年10月21日 |
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5804154 5804299 5804301 5804302 5804368 5804441 5799514 5799991 5799993 5800257 5796292 5796388 5796466 5796793 5798721
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12月1日(日) -
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