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■ 2021年 出願公開件数ランキング 第105位 375件
(2020年:第83位 475件)
■ 2021年 特許取得件数ランキング 第103位 270件
(2020年:第61位 411件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6881530 | 移動体装置、露光装置、デバイス製造方法及びフラットパネルディスプレイの製造方法 | 2021年 6月 2日 | |
特許 6881537 | 移動体装置及び露光装置、並びにデバイス製造方法 | 2021年 6月 2日 | |
特許 6881602 | 光学系および光学機器 | 2021年 6月 2日 | |
特許 6881603 | 光学系および光学機器 | 2021年 6月 2日 | |
特許 6881604 | 光学系および光学機器 | 2021年 6月 2日 | |
特許 6881605 | 光学系および光学機器 | 2021年 6月 2日 | |
特許 6881655 | デバイス製造方法 | 2021年 6月 2日 | |
特許 6881671 | 流体デバイス | 2021年 6月 2日 | |
特許 6881677 | 位置合わせ方法および位置合わせ装置 | 2021年 6月 2日 | |
特許 6874314 | 物体保持装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法 | 2021年 5月19日 | |
特許 6874692 | 基板貼り合わせ装置および基板貼り合わせ方法 | 2021年 5月19日 | |
特許 6874832 | 眼科撮影光学系、眼科撮影装置、眼科用画像取得方法及び眼科用画像システム | 2021年 5月19日 | |
特許 6870230 | 光学系及び光学機器 | 2021年 5月12日 | |
特許 6870372 | エンコーダ装置、駆動装置、ステージ装置、及びロボット装置 | 2021年 5月12日 | |
特許 6870580 | 撮像装置及びカメラボディ | 2021年 5月12日 |
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6881530 6881537 6881602 6881603 6881604 6881605 6881655 6881671 6881677 6874314 6874692 6874832 6870230 6870372 6870580
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