公報番号 | 発明の名称 | 出願人 | 公報発行日 |
---|---|---|---|
特許 5296233 | ワイヤボンディング装置 | 株式会社新川 | 2013年 9月25日 |
特許 5243284 | 補正位置検出装置、補正位置検出方法及びボンディング装置 | 株式会社新川 | 2013年 7月24日 |
特許 5191524 | プラズマ装置およびその製造方法 | 株式会社新川 | 2013年 5月 8日 |
特許 5188615 | プラズマ発生装置、プラズマ点火装置、ガスチャンバ、および半導体回路表面の洗浄方法 | 株式会社新川 他 | 2013年 4月24日 |
特許 5117462 | ワイヤボンディング装置及び方法 | 株式会社新川 | 2013年 1月16日 |
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5296233 5243284 5191524 5188615 5117462
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4月9日(水) -
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