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エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7879212 ウェハボートハンドリング装置、縦型バッチ炉および方法 2026年 6月23日
特許 7875238 金属含有材料ならびに金属含有材料を含む膜および構造体を形成するための周期的堆積方法 2026年 6月17日
特許 7868954 シャワープレート、基材処理装置、および基材処理方法 2026年 6月 2日
特許 7862961 垂直炉反応器アセンブリ、環状フランジユニットの整列方法、および使用 2026年 5月20日
特許 7853480 固体ソースプリカーサ容器 2026年 4月28日
特許 7853074 多方向性反応チャンバを有する反応器システム 2026年 4月28日
特許 7850214 周期的堆積プロセスにより基材上にレニウム含有膜を形成する方法及び関連する半導体デバイス構造 2026年 4月22日
特許 7849220 半導体処理システムにおいてガス流を制御するシステムおよび方法 2026年 4月21日
特許 7849154 表面を洗浄する方法 2026年 4月21日
特許 7846802 半導体加工装置 2026年 4月15日
特許 7846530 ウエハボート 2026年 4月15日
特許 7842160 周期的堆積プロセスによって基材の誘電体表面上にモリブデン金属膜を堆積させる方法および関連する半導体デバイス構造 2026年 4月 7日
特許 7835920 基板処理装置、キャリブレーション方法 2026年 3月25日
特許 7835531 基材を処理するための基材処理装置および方法 2026年 3月25日
特許 7832022 温度制御された反応チャンバー 2026年 3月17日

43 件中 16-30 件を表示

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7879212 7875238 7868954 7862961 7853480 7853074 7850214 7849220 7849154 7846802 7846530 7842160 7835920 7835531 7832022

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