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株式会社SEN

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  2012年 特許取得件数ランキング    第1978位 11件 上昇2011年:第3746位 4件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5100963 ビーム照射装置 2012年12月19日
特許 5085887 ビーム処理装置及びビーム処理方法 2012年11月28日
特許 5068928 低エネルギービーム増大化方法及びビーム照射装置 2012年11月 7日
特許 5042451 ビーム空間電荷中和装置及びこれを備えたイオン注入装置 2012年10月 3日
特許 5042515 真空駆動軸の真空シール機構 2012年10月 3日
特許 5020547 ビーム処理装置及びビーム処理方法 2012年 9月 5日
特許 4964413 イオンビーム/荷電粒子ビーム照射装置 2012年 6月27日
特許 4951201 ビーム照射方法およびビーム照射装置 2012年 6月13日
特許 4954465 イオンビーム/荷電粒子ビーム照射装置 2012年 6月13日
特許 4907077 ウエハ処理装置及びウエハ処理方法並びにイオン注入装置 2012年 3月28日
特許 4901094 ビーム照射装置 2012年 3月21日

11 件中 1-11 件を表示

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5100963 5085887 5068928 5042451 5042515 5020547 4964413 4951201 4954465 4907077 4901094

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