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(
2023年:第3244位 6件)
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(
2023年:第2731位 6件)
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 7602923 | イオン注入方法およびイオン注入装置 | 2024年12月19日 | |
| 特許 7557397 | イオン注入装置および静電四重極レンズ装置 | 2024年 9月27日 | |
| 特許 7548839 | イオン注入装置およびイオン注入方法 | 2024年 9月10日 | |
| 特許 7548844 | ウェハ温度調整装置およびウェハ処理装置 | 2024年 9月10日 | |
| 特許 7530157 | イオン注入方法 | 2024年 8月 7日 | |
| 特許 7515376 | 絶縁構造および絶縁構造の製造方法 | 2024年 7月12日 | |
| 特許 7478071 | イオン注入装置 | 2024年 5月 2日 | |
| 特許 7464781 | イオン生成装置およびイオン注入装置 | 2024年 4月 9日 | |
| 特許 7414589 | イオン注入装置およびモデル生成方法 | 2024年 1月16日 | |
| 特許 7414602 | イオン生成装置 | 2024年 1月16日 |
10 件中 1-10 件を表示
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7602923 7557397 7548839 7548844 7530157 7515376 7478071 7464781 7414589 7414602
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