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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6985951 イオン注入装置および測定装置 2021年12月22日
特許 6982531 イオン注入装置および測定装置 2021年12月17日
特許 6959880 イオン注入装置およびイオン注入方法 2021年11月 5日
特許 6933962 イオン注入装置およびイオン注入装置の制御方法 2021年 9月 8日
特許 6898753 イオン生成装置 2021年 7月 7日
特許 6831245 イオン注入方法およびイオン注入装置 2021年 2月17日
特許 6814081 イオン注入装置及びイオン注入方法 2021年 1月13日

7 件中 1-7 件を表示

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6985951 6982531 6959880 6933962 6898753 6831245 6814081

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