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株式会社SEN

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6253362 高エネルギーイオン注入装置、ビーム電流調整装置、及びビーム電流調整方法 2017年12月27日
特許 6253375 イオン注入装置 2017年12月27日
特許 6253524 ビーム照射装置及びビーム照射方法 2017年12月27日
特許 6242314 イオン注入装置及びイオンビームの調整方法 2017年12月 6日
特許 6238689 イオン生成装置およびイオン生成方法 2017年11月29日
特許 6207413 イオン注入装置及びイオン注入装置の制御方法 2017年10月 4日
特許 6207418 高エネルギーイオン注入装置、ビーム平行化器、及びビーム平行化方法 2017年10月 4日
特許 6195538 イオン注入方法及びイオン注入装置 2017年 9月13日
特許 6184254 イオン注入装置、ビーム平行化装置、及びイオン注入方法 2017年 8月23日
特許 6177123 支持構造およびそれを用いたイオン発生装置 2017年 8月 9日
特許 6169043 イオン発生装置および熱電子放出部 2017年 7月26日
特許 6161571 イオン注入装置 2017年 7月12日
特許 6150632 イオンビーム測定装置及びイオンビーム測定方法 2017年 6月21日
特許 6147177 アンテナカバー及びそれを用いたプラズマ発生装置 2017年 6月14日
特許 6117136 イオン注入装置、ビームエネルギー測定装置、及びビームエネルギー測定方法 2017年 4月19日

20 件中 1-15 件を表示

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6253362 6253375 6253524 6242314 6238689 6207413 6207418 6195538 6184254 6177123 6169043 6161571 6150632 6147177 6117136

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