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(2016年:第2110位 10件)
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(2016年:第1645位 12件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 6253362 | 高エネルギーイオン注入装置、ビーム電流調整装置、及びビーム電流調整方法 | 2017年12月27日 | |
特許 6253375 | イオン注入装置 | 2017年12月27日 | |
特許 6253524 | ビーム照射装置及びビーム照射方法 | 2017年12月27日 | |
特許 6242314 | イオン注入装置及びイオンビームの調整方法 | 2017年12月 6日 | |
特許 6238689 | イオン生成装置およびイオン生成方法 | 2017年11月29日 | |
特許 6207413 | イオン注入装置及びイオン注入装置の制御方法 | 2017年10月 4日 | |
特許 6207418 | 高エネルギーイオン注入装置、ビーム平行化器、及びビーム平行化方法 | 2017年10月 4日 | |
特許 6195538 | イオン注入方法及びイオン注入装置 | 2017年 9月13日 | |
特許 6184254 | イオン注入装置、ビーム平行化装置、及びイオン注入方法 | 2017年 8月23日 | |
特許 6177123 | 支持構造およびそれを用いたイオン発生装置 | 2017年 8月 9日 | |
特許 6169043 | イオン発生装置および熱電子放出部 | 2017年 7月26日 | |
特許 6161571 | イオン注入装置 | 2017年 7月12日 | |
特許 6150632 | イオンビーム測定装置及びイオンビーム測定方法 | 2017年 6月21日 | |
特許 6147177 | アンテナカバー及びそれを用いたプラズマ発生装置 | 2017年 6月14日 | |
特許 6117136 | イオン注入装置、ビームエネルギー測定装置、及びビームエネルギー測定方法 | 2017年 4月19日 |
20 件中 1-15 件を表示
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6253362 6253375 6253524 6242314 6238689 6207413 6207418 6195538 6184254 6177123 6169043 6161571 6150632 6147177 6117136
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