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株式会社SEN

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 ■ 2018年 特許取得件数ランキング    第1328位 14件 (下降2017年:第1034位 20件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6440809 ビーム照射装置 2018年12月19日
特許 6415090 イオン注入装置及びイオン注入方法 2018年10月31日
特許 6415388 プラズマ生成装置 2018年10月31日
特許 6415486 イオン注入装置のための高電圧電極の絶縁構造、イオン源装置、およびイオン注入装置 2018年10月31日
特許 6410689 イオン注入装置及びそれを用いた複数枚のウェハの処理方法 2018年10月24日
特許 6403485 イオン注入装置及びイオン注入方法 2018年10月10日
特許 6388520 ビーム引出スリット構造、イオン源、及びイオン注入装置 2018年 9月12日
特許 6324223 イオン注入装置及びイオン注入方法 2018年 5月16日
特許 6324231 イオン注入装置 2018年 5月16日
特許 6278835 イオン注入装置 2018年 2月14日
特許 6275575 イオン注入装置及びイオン注入装置の制御方法 2018年 2月 7日
特許 6263240 半導体装置の製造方法 2018年 1月17日
特許 6257411 イオン注入装置、最終エネルギーフィルター、及びイオン注入方法 2018年 1月10日
特許 6257455 イオン注入装置及びイオン注入装置の制御方法 2018年 1月10日

14 件中 1-14 件を表示

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6440809 6415090 6415388 6415486 6410689 6403485 6388520 6324223 6324231 6278835 6275575 6263240 6257411 6257455

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