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ブルックス オートメーション インコーポレイテッド
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■ 2015年 出願公開件数ランキング 第1502位 15件
（
2014年： 0件）
■ 2015年 特許取得件数ランキング 第1114位 18件
（2014年： 0件）
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ブルックス オートメーション インコーポレイテッドの商標一覧| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 5820559 | 高速基板配置装置 | 2015年11月24日 | |
| 特許 5815682 | 極低温冷却のためのシステム | 2015年11月17日 | |
| 特許 5795162 | ロードロック高速排気および通気 | 2015年10月14日 | |
| 特許 5779253 | 制御された水素ガス放出を伴うクライオポンプ | 2015年 9月16日 | |
| 特許 5764096 | 第３種の気体の排気用高コンダクタンス・クライオポンプ | 2015年 8月12日 | |
| 特許 5760034 | モジュラクラスタツール | 2015年 8月 5日 | |
| 特許 5751690 | 半導体製造装置 | 2015年 7月22日 | |
| 特許 5732404 | 排気系が組み込まれたプロセスチャンバ | 2015年 6月10日 | |
| 特許 5732698 | ロードポートモジュール | 2015年 6月10日 | |
| 特許 5732132 | ポートドア位置決め装置及び関連の方法 | 2015年 6月10日 | |
| 特許 5727466 | 基板用容器貯蔵システムと相互作用する一体システム | 2015年 6月 3日 | |
| 特許 5721701 | 基板用容器貯蔵システム | 2015年 5月20日 | |
| 特許 5706085 | 直線状に分布された半導体部品処理ツール | 2015年 4月22日 | |
| 特許 5689920 | ウェハ中心検出 | 2015年 3月25日 | |
| 特許 5676516 | 基板を格納するための基板容器及びウェハを搬送するための装置 | 2015年 2月25日 |
18 件中 1-15 件を表示
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5820559 5815682 5795162 5779253 5764096 5760034 5751690 5732404 5732698 5732132 5727466 5721701 5706085 5689920 5676516
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