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ブルックス オートメーション インコーポレイテッド

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  2017年 出願公開件数ランキング    第1346位 21件 上昇2016年:第1667位 14件)

  2017年 特許取得件数ランキング    第1304位 15件 下降2016年:第1172位 18件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6240377 時間最適アーム動作を生成する装置 2017年11月29日
特許 6203800 極低温冷却のためのシステム 2017年 9月27日
特許 6179910 異なる保持エンドエフェクタを有する基板搬送装置 2017年 8月16日
特許 6178791 ロボット移送装置の時間最適軌道 2017年 8月 9日
特許 6170843 システム 2017年 7月26日
特許 6145443 輻射シールド、極低温ユニットおよびクライオポンプ 2017年 6月14日
特許 6130987 磁気スピンドル軸受を伴うロボット駆動装置 2017年 5月17日
特許 6123104 異なる保持エンドエフェクタを有する基板搬送装置 2017年 5月10日
特許 6113227 基板処理ツール 2017年 4月12日
特許 6109469 システム 2017年 4月 5日
特許 6106176 ロードステーション 2017年 3月29日
特許 6101302 ポートドア位置決め装置及び関連の方法 2017年 3月22日
特許 6084594 貯蔵システム 2017年 2月22日
特許 6073262 低減容量キャリア、搬送機、積載ポート、緩衝装置システム 2017年 2月 1日
特許 6059156 基板処理ツール 2017年 1月11日

15 件中 1-15 件を表示

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6240377 6203800 6179910 6178791 6170843 6145443 6130987 6123104 6113227 6109469 6106176 6101302 6084594 6073262 6059156

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