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■ 2021年 出願公開件数ランキング 第1675位 14件 (2020年:第1113位 23件)
■ 2021年 特許取得件数ランキング 第1299位 14件 (2020年:第1115位 17件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6959086 | 自動位置合わせ基板搬送装置 | 2021年11月 2日 | |
特許 6918770 | オンザフライ方式の自動ウェハセンタリング方法および装置 | 2021年 8月11日 | |
特許 6908585 | 基板搬送装置 | 2021年 7月28日 | |
特許 6905973 | 自動化された保管庫モジュール | 2021年 7月21日 | |
特許 6907166 | 半導体処理ツール | 2021年 7月21日 | |
特許 6898403 | 基板搬送システム、基板処理装置、及び基板搬送方法 | 2021年 7月 7日 | |
特許 6896027 | 半導体部品処理システム | 2021年 6月30日 | |
特許 6888132 | 基板搬送装置 | 2021年 6月16日 | |
特許 6871863 | 自動極低温保存システム | 2021年 5月19日 | |
特許 6863744 | 搬送装置および処理装置 | 2021年 4月21日 | |
特許 6843493 | 基板処理装置 | 2021年 3月17日 | |
特許 6837980 | チューブシーラ | 2021年 3月 3日 | |
特許 6833685 | ツールの自動教示方法および装置 | 2021年 2月24日 | |
特許 6820198 | 密閉環境のための位置フィードバック | 2021年 1月27日 |
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6959086 6918770 6908585 6905973 6907166 6898403 6896027 6888132 6871863 6863744 6843493 6837980 6833685 6820198
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