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株式会社ユーテック

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  2015年 特許取得件数ランキング    第1417位 13件 上昇2014年: 0件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 5816891 被成膜基材への薄膜の成膜方法及びスパッタ装置 2015年11月18日
特許 5810462 プラズマ処理装置及び基材の表面処理方法 2015年11月11日
特許 5799294 強誘電体膜 2015年10月21日
特許 5795390 微粒子の製造方法 2015年10月14日
特許 5764780 ポーリング処理方法及び圧電体の製造方法 2015年 8月19日
特許 5764788 反応装置及び反応方法 2015年 8月19日
特許 5764789 プラズマCVD装置及び磁気記録媒体の製造方法 2015年 8月19日
特許 5747186 プラズマCVD装置、SiO2膜又はSiOF膜及びその成膜方法 2015年 7月 8日
特許 5747187 熱CVD装置、SiO2膜又はSiOF膜及びその成膜方法 2015年 7月 8日
特許 5721923 表面処理微粒子、表面処理装置及び微粒子の表面処理方法 2015年 5月20日
特許 5703439 金属プレート及びオスミウム膜の成膜方法 2015年 4月22日
特許 5703440 圧電体回折格子、プロジェクター、発光装置及び表示装置 2015年 4月22日
特許 5699297 基板処理装置及び薄膜の製造方法 2015年 4月 8日
特許 5699299 強誘電体膜の製造方法、強誘電体膜及び圧電素子 2015年 4月 8日

14 件中 1-14 件を表示

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5816891 5810462 5799294 5795390 5764780 5764788 5764789 5747186 5747187 5721923 5703439 5703440 5699297 5699299

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