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シャンハイ マイクロ エレクトロニクス イクイプメント カンパニー リミティド

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  2021年 出願公開件数ランキング    第12881位 1件 下降2020年:第957位 28件)

  2021年 特許取得件数ランキング    第701位 31件 上昇2020年:第716位 30件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6918100 半導体再配線方法 2021年 8月11日
特許 6909858 シャッター装置及びその制御方法、リソグラフィー装置及びその露光量制御方法 2021年 7月28日
特許 6909919 対物レンズ保護装置、対物レンズシステムおよびリソグラフィ装置 2021年 7月28日
特許 6899437 レチクルケース 2021年 7月 7日
特許 6891295 シリコンウェーハ吸着装置、シリコンウェーハ搬送装置、シリコンウェーハ搬送システム、及び搬送方法 2021年 6月18日
特許 6872042 レーザーパッケージング装置及びパッケージング方法 2021年 5月19日
特許 6857732 光源の露光量を制御するためのシステム及び方法 2021年 4月14日
特許 6856263 同軸マスク位置合せデバイス、フォトリトグラフィ装置および位置合せ方法 2021年 4月 7日
特許 6847206 ユニバーサルチップバッチボンディング装置及び方法 2021年 3月24日
特許 6843151 光強度調整方法 2021年 3月17日
特許 6831383 レーザーアニーリング装置及びそのためのレーザーアニーリング方法 2021年 2月17日
特許 6825089 ワークテーブル搬入出装置 2021年 2月 3日
特許 6807448 走査反射鏡振幅測定装置及び測定方法 2021年 1月 6日
特許 6807468 シリコンウェーハ処理装置及び方法 2021年 1月 6日
特許 6810170 エッジ露光装置及び方法 2021年 1月 6日

31 件中 16-30 件を表示

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6918100 6909858 6909919 6899437 6891295 6872042 6857732 6856263 6847206 6843151 6831383 6825089 6807448 6807468 6810170

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