公報番号 | 発明の名称 | 出願人 | 公報発行日 |
---|---|---|---|
特開 2013-251548 | 基板洗浄装置及び基板洗浄方法 | セメス株式会社 | 2013年12月12日 |
特開 2013-251547 | 基板処理装置及び基板処理方法 | セメス株式会社 | 2013年12月12日 |
特開 2013-251549 | 基板処理装置及び基板処理方法 | セメス株式会社 | 2013年12月12日 |
特開 2013-251550 | 基板乾燥装置及び基板乾燥方法 | セメス株式会社 | 2013年12月12日 |
特開 2013-232649 | 基板処理装置及びその処理流体供給方法 | セメス株式会社 | 2013年11月14日 |
特開 2013-232650 | 基板洗浄装置及び基板洗浄方法 | セメス株式会社 | 2013年11月14日 |
特開 2013-214514 | 基板処理装置及び基板処理方法 | セメス株式会社 | 2013年10月17日 |
特開 2013-214745 | 基板処理装置及び方法 | セメス株式会社 | 2013年10月17日 |
特開 2013-214744 | 基板処理装置 | セメス株式会社 | 2013年10月17日 |
特開 2013-207303 | 基板処理装置及び基板処理方法 | セメス株式会社 | 2013年10月 7日 |
特開 2013-98569 | ノズルユニット、基板処理装置、及び基板処理方法 | セメス株式会社 | 2013年 5月20日 |
特開 2013-98570 | 基板処理装置及び基板処理方法 | セメス株式会社 | 2013年 5月20日 |
特開 2013-98550 | 基板処理装置及び薬液再生方法 | セメス株式会社 | 2013年 5月20日 |
特開 2013-98177 | 基板処理装置及びインピーダンスマッチング方法 | セメス株式会社 | 2013年 5月20日 |
特表 2013-516080 | ガス噴射ユニット及びこれを利用する薄膜蒸着装置及び方法 | セメス株式会社 | 2013年 5月 9日 |
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1月20日(月) -
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1月21日(火) -
1月21日(火) - 東京 港区
1月21日(火) - 大阪 大阪市
1月22日(水) - 東京 港区
1月22日(水) -
1月22日(水) -
1月22日(水) - 大阪 大阪市
1月22日(水) - 東京 千代田区
1月22日(水) -
1月22日(水) -
1月22日(水) -
1月23日(木) -
1月23日(木) -
1月23日(木) - 東京 港区
1月23日(木) -
1月23日(木) -
1月23日(木) -
1月23日(木) -
1月24日(金) - 東京 港区
1月24日(金) - 東京 千代田区
1月24日(金) -
1月24日(金) - 東京 千代田区
1月24日(金) - 大阪 大阪市
1月24日(金) - 神奈川 川崎市
1月24日(金) - 東京 千代田区
1月20日(月) -
1月27日(月) - 東京 港区
1月28日(火) - 東京 港区
1月28日(火) -
1月28日(火) -
1月28日(火) -
1月28日(火) - 大阪 大阪市
1月29日(水) - 東京 港区
1月29日(水) - 東京 港区
1月29日(水) - 東京 品川区
1月29日(水) -
1月29日(水) -
1月29日(水) -
1月30日(木) -
1月30日(木) -
1月30日(木) -
1月30日(木) - 東京 港区
1月31日(金) -
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