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2021年:第25492位 0件)
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特開 2022-184751 | 基板処理装置 | 2022年12月13日 | |
| 特開 2022-183055 | 基板処理装置 | 2022年12月 8日 | |
| 特開 2022-177813 | 基板処理制御方法、基板処理装置、基板処理方法、及びコンピュータ読出し媒体に格納されたコンピュータプログラム | 2022年12月 1日 | |
| 特開 2022-174724 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2022年11月24日 | |
| 特開 2022-104862 | 支持装置、及び支持装置を含む基板処理装置 | 2022年 7月12日 | |
| 特開 2022-104866 | バックノズルユニット、及びバックノズルユニットを含む基板処理装置 | 2022年 7月12日 | |
| 特開 2022-104782 | 基板処理装置および方法 | 2022年 7月11日 | |
| 特開 2022-104785 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2022年 7月11日 | |
| 特開 2022-104810 | 半導体パッケージの移送方法、半導体パッケージ移送モジュール、及び半導体パッケージ切断及び分類装置 | 2022年 7月11日 | |
| 特開 2022-91722 | ウエハ型センサの充電およびオートティーチングのための制御プログラム、コンテナおよび半導体素子製造設備 | 2022年 6月21日 | |
| 特開 2022-85832 | 基板処理液回収ユニットおよびそれを備える基板処理装置 | 2022年 6月 8日 | |
| 特開 2022-82512 | 移送装置 | 2022年 6月 2日 | |
| 特開 2022-75501 | インターフェース装置およびそれを備えるコンテナ移送システム | 2022年 5月18日 | |
| 特開 2022-74110 | キャリッジロボット及びそれを含むタワーリフト | 2022年 5月17日 | |
| 特開 2022-68831 | 基板処理装置 | 2022年 5月10日 |
21 件中 1-15 件を表示
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2022-184751 2022-183055 2022-177813 2022-174724 2022-104862 2022-104866 2022-104782 2022-104785 2022-104810 2022-91722 2022-85832 2022-82512 2022-75501 2022-74110 2022-68831
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