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■ 2023年 出願公開件数ランキング 第527位 59件 (2022年:第1164位 21件)
■ 2023年 特許取得件数ランキング 第756位 32件 (2022年:第3719位 4件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2023-183361 | 装備フロントエンドモジュールおよびその駆動方法、それを含む基板処理装置 | 2023年12月27日 | |
特開 2023-169506 | 基板処理装置 | 2023年11月30日 | |
特開 2023-168227 | 基板処理装置 | 2023年11月24日 | |
特開 2023-162466 | 基板処理装置および方法 | 2023年11月 9日 | |
特開 2023-162567 | 薬液ヒーティング装置およびそれを備える基板処理システム | 2023年11月 9日 | |
特開 2023-155878 | 搬送システムおよびその制御方法 | 2023年10月23日 | |
特開 2023-155193 | コンテナ搬送装置およびそれを含む物流搬送システム | 2023年10月20日 | |
特開 2023-152718 | 流速増加装置及びそれを含む薄膜蒸着機 | 2023年10月17日 | |
特開 2023-152819 | チューブ、それを含むポンプ、及び薬液供給装置 | 2023年10月17日 | |
特開 2023-152827 | エッチングガス組成物、基板処理装置、及びそれを用いたパターン形成方法 | 2023年10月17日 | |
特開 2023-147584 | プラズマを用いた基板処理装置および方法 | 2023年10月13日 | |
特開 2023-140275 | 外乱観測器を含む搬送システムおよびその制御方法 | 2023年10月 4日 | |
特開 2023-102244 | 静電気可視化装置 | 2023年 7月24日 | |
特開 2023-99286 | 基板処理装置および方法 | 2023年 7月12日 | |
特開 2023-99288 | 液滴吐出装置およびその製造方法 | 2023年 7月12日 |
59 件中 1-15 件を表示
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2023-183361 2023-169506 2023-168227 2023-162466 2023-162567 2023-155878 2023-155193 2023-152718 2023-152819 2023-152827 2023-147584 2023-140275 2023-102244 2023-99286 2023-99288
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