出願人名に「セメス株式会社」を含むもの
| 公報番号 | 発明の名称 | 出願人 | 公報発行日 |
|---|---|---|---|
| 特開 2011-192996 | 薬液供給ユニット及びそれを有する基板処理装置 | セメス株式会社 | 2011年 9月29日 |
| 特開 2011-151418 | 基板現像方法及びこれを行うための装置 | セメス株式会社 | 2011年 8月 4日 |
| 特開 2011-146705 | 基板処理装置 | セメス株式会社 | 2011年 7月28日 |
| 特開 2011-66426 | スイングノズルユニット及びそれを有する基板処理装置 | セメス株式会社 | 2011年 3月31日 |
| 特開 2011-28265 | 処理液の吐出ヘッドユニットおよびこれを具備した処理液の吐出装置 | セメス株式会社 | 2011年 2月10日 |
| 特開 2011-29643 | 基板研磨装置及び方法 | セメス株式会社 | 2011年 2月10日 |
| 特開 2011-20117 | 洗浄ユニット、これを有する処理液塗布装置及びこれを利用した洗浄方法 | セメス株式会社 | 2011年 2月 3日 |
| 特開 2011-14906 | 基板処理方法及び装置 | セメス株式会社 | 2011年 1月20日 |
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2011-192996 2011-151418 2011-146705 2011-66426 2011-28265 2011-29643 2011-20117 2011-14906
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