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トーキョー エレクトロン ユーエス ホールディングス,インコーポレーテッド

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  2017年 出願公開件数ランキング    第34787位 0件 下降2016年:第33513位 0件)

  2017年 特許取得件数ランキング    第24017位 0件 上昇2016年:第24808位 0件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6225243 マイクロ波処理システムおよび基板処理方法 2017年11月 1日
特許 6225269 グラホエピタキシャル用途におけるブロックコポリマーの組織化を誘導するトポグラフィの使用 2017年11月 1日
特許 6196739 原子層堆積を用いずに自己整合ダブルパターニングを行う方法 2017年 9月13日
特許 6185139 誘導自己組織化用途向け溶媒アニーリング処理 2017年 8月23日
特許 6175570 ガスパルスを用いる深掘りシリコンエッチングのための方法 2017年 8月 2日
特許 6139011 誘導自己組織化用途における中立層オーバーコートのトポグラフィの最小化 2017年 5月31日
特許 6114270 電界によりパターン及び構造形成を制御する方法及びデバイス 2017年 4月12日
特許 6088052 枚葉式基板システムでフォトレジストを剥離する方法 2017年 3月 1日

8 件中 1-8 件を表示

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6225243 6225269 6196739 6185139 6175570 6139011 6114270 6088052

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