出願人名に「サムコ株式会社」を含むもの
| 公報番号 | 発明の名称 | 出願人 | 公報発行日 |
|---|---|---|---|
| 特開 2013-129897 | 誘導結合形プラズマ処理装置のマスク部材 | サムコ株式会社 | 2013年 7月 4日 |
| 特開 2013-118226 | 化合物半導体気相成長装置 | サムコ株式会社 | 2013年 6月13日 |
| 特開 2013-4613 | プラズマ処理装置用トレイ及びプラズマ処理装置 | サムコ株式会社 | 2013年 1月 7日 |
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2013-129897 2013-118226 2013-4613
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