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ヴァリアン セミコンダクター イクイップメント アソシエイツ インコーポレイテッド

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  2020年 出願公開件数ランキング    第2114位 10件 下降2019年:第1102位 25件)

  2020年 特許取得件数ランキング    第951位 21件 下降2019年:第787位 27件)

(ランキング更新日:2024年11月25日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6673937 静電クランプ 2020年 4月 1日
特許 6668376 プラズマ処理装置 2020年 3月18日
特許 6664023 イオン源の温度制御装置 2020年 3月13日
特許 6666361 イオン源筐体アセンブリ、イオン抽出システム、及びイオン抽出システムを改良する方法 2020年 3月13日
特許 6656260 基板を処理するためにイオンビーム電流を制御する装置及び方法並びにイオン注入機 2020年 3月 4日
特許 6646767 傍熱型陰極イオン源及びベルナス(BernAs)イオン源 2020年 2月14日
特許 6644063 シート形成装置、シートの厚さを測定するシステム及び材料の界面の位置を決定する方法 2020年 2月12日

22 件中 16-22 件を表示

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6673937 6668376 6664023 6666361 6656260 6646767 6644063

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