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ヴァリアン　セミコンダクター　イクイップメント　アソシエイツ　インコーポレイテッド

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ヴァリアン　セミコンダクター　イクイップメント　アソシエイツ　インコーポレイテッドの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 6983796	基板を処理する方法	2021年12月22日
特許 6976441	イオンビームを制御する装置および方法	2021年12月 8日
特許 6974453	モジュール式相互リアクトルを有する故障電流リミッタ	2021年12月 1日
特許 6964716	スキャン後の湾曲電極のイオン注入システムの装置	2021年11月10日
特許 6960060	イオン源の動的温度制御	2021年11月 5日
特許 6948316	間接加熱陰極イオン源	2021年10月13日
特許 6944949	電荷が中和されたイオンビームのための無線周波数抽出システム	2021年10月 6日
特許 6934080	熱絶縁電気接点プローブ及び加熱プラテンアセンブリ	2021年 9月 8日
特許 6928610	イオンビーム装置内の汚染制御用の装置、システム及び方法	2021年 9月 1日
特許 6920195	基板をアクティブに位置合わせするアクティブ基板位置合わせシステム及び方法	2021年 8月18日
特許 6913678	ビーム電流動作の広い範囲におけるイオンビームの制御	2021年 8月 4日
特許 6915057	ドーパント種をワークピース上に堆積する堆積方法、ドーパント種をワークピース内に注入する注入方法及びワークピースを処理するワークピース処理方法	2021年 8月 4日
特許 6899218	基板をエッチングする方法、デバイス構造をエッチングする方法及び処理装置	2021年 7月 7日
特許 6889773	基板およびその上に配置された層のパターニング方法、ならびにデバイス構造の形成方法	2021年 6月18日
特許 6889181	ワークピースの中に処理種を注入する方法及びワークピースにドーパントを注入する方法、並びに、ワークピースを処理する装置	2021年 6月18日

33 件中 1-15 件を表示

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6983796 6976441 6974453 6964716 6960060 6948316 6944949 6934080 6928610 6920195 6913678 6915057 6899218 6889773 6889181

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