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■ 2022年 出願公開件数ランキング 第14391位 1件 (2021年:第2162位 10件)
■ 2022年 特許取得件数ランキング 第1358位 15件 (2021年:第664位 33件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7194100 | 電極、加速器カラム及びそれらを含むイオン注入装置 | 2022年12月21日 | |
特許 7176951 | DRAMデバイス、DRAMデバイスを形成する方法及びゲート酸化物層を形成する方法 | 2022年11月22日 | |
特許 7142695 | 半導体デバイスおよびその製造方法 | 2022年 9月27日 | |
特許 7134231 | ワークピース背面の損傷を最小限に抑えるためのシステムおよび方法 | 2022年 9月 9日 | |
特許 7098522 | 傾斜イオンビームを用いて空洞を満たすための装置及び技術 | 2022年 7月11日 | |
特許 7093358 | 抑制電極の熱変形を制御するための装置及びイオンビームの均一性を制御するための装置 | 2022年 6月29日 | |
特許 7068412 | イオン注入システム及びその場(in situ)プラズマクリーニング方法 | 2022年 5月16日 | |
特許 7054344 | 基板に多層構造を作るための方法及び多層デバイス | 2022年 4月13日 | |
特許 7050916 | イオンビームシステムにおけるビームマッピングのための装置と技術 | 2022年 4月 8日 | |
特許 7046175 | イオン注入システム、イオン注入装置及び抽出プレート | 2022年 4月 1日 | |
特許 7037553 | 結晶性シートの形成装置及び形成方法 | 2022年 3月16日 | |
特許 7032403 | イオンビーム装置のためのガス圧入システム及びガス圧入システムのための引出しプレートを製造する方法 | 2022年 3月 8日 | |
特許 7030696 | 中性種に対する反応性イオンの比を増大させる方法 | 2022年 3月 7日 | |
特許 7016867 | イオンビーム装置 | 2022年 2月 7日 | |
特許 6995999 | ワークピース処理用の低粒子容量結合成分 | 2022年 1月17日 |
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7194100 7176951 7142695 7134231 7098522 7093358 7068412 7054344 7050916 7046175 7037553 7032403 7030696 7016867 6995999
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