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ヴァリアン セミコンダクター イクイップメント アソシエイツ インコーポレイテッド

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  2019年 出願公開件数ランキング    第1102位 25件 下降2018年:第796位 35件)

  2019年 特許取得件数ランキング    第787位 27件 上昇2018年:第967位 21件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6622806 ワークピース処理システム及びワークピース処理方法 2019年12月18日
特許 6615875 融液上に成長した結晶シートの厚さを制御する装置、方法およびシステム 2019年12月 4日
特許 6613243 シリコン融液内の熱流を制御する装置 2019年11月27日
特許 6607851 イオン注入装置におけるデュアルモード動作用のシステム、及びイオン注入装置を動作させる方法 2019年11月20日
特許 6607859 静電クランプを製造する方法、静電クランプ及び静電クランプシステム 2019年11月20日
特許 6596496 ロードロックチャンバを通気する方法、ロードロックシステム及びコンピュータ可読記憶媒体 2019年10月23日
特許 6577947 ワークピースにドーパントを注入する方法 2019年 9月18日
特許 6564374 インターリーブ巻線を備えた故障電流制限装置 2019年 8月21日
特許 6560674 ソリッドステート故障電流限流デバイス、故障電流を制限する方法及びシステム 2019年 8月14日
特許 6553089 融液を処理する装置、融液内で熱流を制御するシステム及び融液を処理する方法 2019年 7月31日
特許 6522002 処理システム、ワークピースプロセスを較正する方法、ワークピース製造プロセスを確認する方法およびワークピースを昇温状態で処理する方法 2019年 5月29日
特許 6515118 イオン源の温度制御装置 2019年 5月15日
特許 6507173 集積超伝導体デバイス及びその製造方法 2019年 5月 8日
特許 6506760 固体故障電流リミッタ 2019年 4月24日
特許 6496710 基板昇降装置用力検知方法 2019年 4月 3日

27 件中 1-15 件を表示

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6622806 6615875 6613243 6607851 6607859 6596496 6577947 6564374 6560674 6553089 6522002 6515118 6507173 6506760 6496710

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