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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6622806 | ワークピース処理システム及びワークピース処理方法 | 2019年12月18日 | |
特許 6615875 | 融液上に成長した結晶シートの厚さを制御する装置、方法およびシステム | 2019年12月 4日 | |
特許 6613243 | シリコン融液内の熱流を制御する装置 | 2019年11月27日 | |
特許 6607851 | イオン注入装置におけるデュアルモード動作用のシステム、及びイオン注入装置を動作させる方法 | 2019年11月20日 | |
特許 6607859 | 静電クランプを製造する方法、静電クランプ及び静電クランプシステム | 2019年11月20日 | |
特許 6596496 | ロードロックチャンバを通気する方法、ロードロックシステム及びコンピュータ可読記憶媒体 | 2019年10月23日 | |
特許 6577947 | ワークピースにドーパントを注入する方法 | 2019年 9月18日 | |
特許 6564374 | インターリーブ巻線を備えた故障電流制限装置 | 2019年 8月21日 | |
特許 6560674 | ソリッドステート故障電流限流デバイス、故障電流を制限する方法及びシステム | 2019年 8月14日 | |
特許 6553089 | 融液を処理する装置、融液内で熱流を制御するシステム及び融液を処理する方法 | 2019年 7月31日 | |
特許 6522002 | 処理システム、ワークピースプロセスを較正する方法、ワークピース製造プロセスを確認する方法およびワークピースを昇温状態で処理する方法 | 2019年 5月29日 | |
特許 6515118 | イオン源の温度制御装置 | 2019年 5月15日 | |
特許 6507173 | 集積超伝導体デバイス及びその製造方法 | 2019年 5月 8日 | |
特許 6506760 | 固体故障電流リミッタ | 2019年 4月24日 | |
特許 6496710 | 基板昇降装置用力検知方法 | 2019年 4月 3日 |
27 件中 1-15 件を表示
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6622806 6615875 6613243 6607851 6607859 6596496 6577947 6564374 6560674 6553089 6522002 6515118 6507173 6506760 6496710
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