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■ 2024年 出願公開件数ランキング 第2034位 10件
(2023年:第2569位 8件)
■ 2024年 特許取得件数ランキング 第1722位 11件
(2023年:第2423位 7件)
(ランキング更新日:2025年4月15日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7606999
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基板処理方法 | 2024年12月26日 | |
特許 7603760
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基板支持装置の組立方法 | 2024年12月20日 | |
特許 7588128
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基板処理装置 | 2024年11月21日 | |
特許 7548981
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基板処理装置 | 2024年 9月10日 | |
特許 7463459
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基板処理装置 | 2024年 4月 8日 | |
特許 7451579
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基板処理装置 | 2024年 3月18日 | |
特許 7446273
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チャンバ内部処理方法及び基板処理方法 | 2024年 3月 8日 | |
特許 7441905
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基板処理装置 | 2024年 3月 1日 | |
特許 7441908
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基板処理装置 | 2024年 3月 1日 | |
特許 7428748
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基板処理装置 | 2024年 2月 6日 | |
特許 7416902
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基板処理装置及びそれを備える基板処理システム | 2024年 1月17日 |
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7606999 7603760 7588128 7548981 7463459 7451579 7446273 7441905 7441908 7428748 7416902
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