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公報番号 | 発明の名称 | 出願人 | 公報発行日 |
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特表 2011-508460 | プラズマ処理装置及びガス分配器 | 北京北方微▲電▼子基地▲設▼▲備▼工▲芸▼研究中心有限▲責▼任公司 | 2011年 3月10日 |
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