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■ 2022年 出願公開件数ランキング 第995位 26件
(2021年:第1359位 18件)
■ 2022年 特許取得件数ランキング 第767位 32件
(2021年:第994位 20件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7093241 | ショートアーク型放電ランプ | 2022年 6月29日 | |
特許 7089920 | 露光装置 | 2022年 6月23日 | |
特許 7090002 | 露光装置 | 2022年 6月23日 | |
特許 7082498 | 放電ランプ | 2022年 6月 8日 | |
特許 7076307 | 放電ランプおよび放電ランプ用電極の製造方法 | 2022年 5月27日 | |
特許 7053191 | オゾン生成装置および紫外線照射装置 | 2022年 4月12日 | |
特許 7051204 | 光源装置、露光装置および光源装置の組み立て方法 | 2022年 4月11日 | |
特許 7045919 | 光源ユニットおよび露光装置 | 2022年 4月 1日 | |
特許 7041482 | 露光装置 | 2022年 3月24日 | |
特許 7040981 | 露光装置 | 2022年 3月23日 | |
特許 7037341 | 露光装置および露光方法 | 2022年 3月16日 | |
特許 7037416 | 露光装置 | 2022年 3月16日 | |
特許 7032859 | 放電ランプおよび放電ランプの製造方法 | 2022年 3月 9日 | |
特許 7027096 | 放電ランプ、放電ランプ用電極、放電ランプの製造方法および放電ランプ用電極の製造方法 | 2022年 3月 1日 | |
特許 7023620 | 露光装置及び基板載置方法 | 2022年 2月22日 |
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7093241 7089920 7090002 7082498 7076307 7053191 7051204 7045919 7041482 7040981 7037341 7037416 7032859 7027096 7023620
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