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■ 2026年 出願公開件数ランキング 第1488位 12件
(
2025年:第1365位 16件)
■ 2026年 特許取得件数ランキング 第1613位 9件
(
2025年:第1519位 12件)
(ランキング更新日:2026年10月28日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特開 2026-170218 | 半導体フォトリソグラフィで使用される光源のためのモジュールの保守 | 2026年10月21日 | |
| 特開 2026-146024 | ガス放電チャンバブロワのエネルギー消費量を低減すること | 2026年 9月15日 | |
| 特表 2026-528569 | レーザビームスペクトル線幅の測定を較正するためのシステム及びその方法 | 2026年 8月24日 | |
| 特表 2026-528139 | 放射源の放電チャンバ内の電極 | 2026年 8月20日 | |
| 特表 2026-525152 | 光源の状態を予測するための方法 | 2026年 7月29日 | |
| 特表 2026-523304 | DUVレーザビームスペクトル特性の測定を較正するためのシステム及び方法 | 2026年 7月14日 | |
| 特開 2026-94089 | 光源装置用のエネルギー補正モジュール | 2026年 6月 9日 | |
| 特表 2026-514352 | レーザチャンバにおける音響制御のための装置及び方法 | 2026年 5月11日 | |
| 特表 2026-514357 | 音響散乱面を有するレーザチャンバプレイオナイザ | 2026年 5月11日 | |
| 特表 2026-508077 | 半導体製造プロセスにおける光源のモジュールの保守のためのプロセス | 2026年 3月10日 | |
| 特表 2026-502413 | 光源におけるコールドスタート調整 | 2026年 1月23日 | |
| 特表 2026-501136 | レーザ保守装置及び方法 | 2026年 1月14日 |
12 件中 1-12 件を表示
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2026-170218 2026-146024 2026-528569 2026-528139 2026-525152 2026-523304 2026-94089 2026-514352 2026-514357 2026-508077 2026-502413 2026-501136
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