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■ 2023年 出願公開件数ランキング 第786位 35件
(2022年:第1227位 20件)
■ 2023年 特許取得件数ランキング 第1078位 20件
(2022年:第1232位 17件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7395729 | 複数のレーザビームを組み合わせるための装置及びその方法 | 2023年12月11日 | |
特許 7394224 | レーザー放電チャンバ内で金属フッ化物塵埃をトラップするための充填層フィルタ | 2023年12月 7日 | |
特許 7393534 | レーザ源におけるスマートガス温度制御 | 2023年12月 6日 | |
特許 7391217 | レーザ源に用いられるガスパージシステム | 2023年12月 4日 | |
特許 7386346 | ガス放電チャンバ支持デバイスでのフレッチング腐食の低減 | 2023年11月24日 | |
特許 7382424 | 複数の深紫外光発振器のための制御システム | 2023年11月16日 | |
特許 7381728 | 放電レーザ用導電部材 | 2023年11月15日 | |
特許 7378589 | ガス制御方法及びそれに関連した使用 | 2023年11月13日 | |
特許 7369205 | 長寿命レーザチャンバ電極 | 2023年10月25日 | |
特許 7361210 | 放射源試験 | 2023年10月13日 | |
特許 7360539 | ガス放電光源におけるフッ素検出 | 2023年10月12日 | |
特許 7358610 | 繰り返し率のずれによって誘発される波長誤差を補償する方法 | 2023年10月10日 | |
特許 7358642 | ガス放電光源における予測装置 | 2023年10月10日 | |
特許 7309701 | リソグラフィシステム帯域幅制御 | 2023年 7月18日 | |
特許 7304434 | 出力光ビーム形成装置 | 2023年 7月 6日 |
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7395729 7394224 7393534 7391217 7386346 7382424 7381728 7378589 7369205 7361210 7360539 7358610 7358642 7309701 7304434
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