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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 7169359 | レーザチャンバにおける放電性能を調整する装置 | 2022年11月10日 | |
| 特許 7165735 | DUV光源、放電チャンバ及びその動作方法 | 2022年11月 4日 | |
| 特許 7157044 | 光ビームのコヒーレンス量の調整 | 2022年10月19日 | |
| 特許 7124211 | 寿命が延長されたレーザチャンバ電極及びこれを有するレーザ | 2022年 8月23日 | |
| 特許 7109525 | ガス放電光源におけるガス最適化 | 2022年 7月29日 | |
| 特許 7104828 | エキシマ光源におけるスペックルの低減 | 2022年 7月21日 | |
| 特許 7096891 | ガス管理システム | 2022年 7月 6日 | |
| 特許 7095084 | レーザチャンバ内の電極の寿命を延ばす方法及び装置 | 2022年 7月 4日 | |
| 特許 7085571 | フッ素濃度を感知するための装置及び方法 | 2022年 6月16日 | |
| 特許 7077243 | フォトリソグラフィシステム及び計測装置 | 2022年 5月30日 | |
| 特許 7065186 | レーザ放電チャンバにおけるダスト捕捉のための不織スクリーン | 2022年 5月11日 | |
| 特許 7053536 | パルス光ビームのスペクトルフィーチャ計測 | 2022年 4月12日 | |
| 特許 7044894 | パルス光ビームのスペクトル特性選択及びパルスタイミング制御 | 2022年 3月30日 | |
| 特許 7030998 | ガス管理システム | 2022年 3月 7日 | |
| 特許 7021243 | 空間出力からスペクトル形状を回復する装置及び方法 | 2022年 2月16日 |
17 件中 1-15 件を表示
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7169359 7165735 7157044 7124211 7109525 7104828 7096891 7095084 7085571 7077243 7065186 7053536 7044894 7030998 7021243
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