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サイマー リミテッド ライアビリティ カンパニー

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7169359 レーザチャンバにおける放電性能を調整する装置 2022年11月10日
特許 7165735 DUV光源、放電チャンバ及びその動作方法 2022年11月 4日
特許 7157044 光ビームのコヒーレンス量の調整 2022年10月19日
特許 7124211 寿命が延長されたレーザチャンバ電極及びこれを有するレーザ 2022年 8月23日
特許 7109525 ガス放電光源におけるガス最適化 2022年 7月29日
特許 7104828 エキシマ光源におけるスペックルの低減 2022年 7月21日
特許 7096891 ガス管理システム 2022年 7月 6日
特許 7095084 レーザチャンバ内の電極の寿命を延ばす方法及び装置 2022年 7月 4日
特許 7085571 フッ素濃度を感知するための装置及び方法 2022年 6月16日
特許 7077243 フォトリソグラフィシステム及び計測装置 2022年 5月30日
特許 7065186 レーザ放電チャンバにおけるダスト捕捉のための不織スクリーン 2022年 5月11日
特許 7053536 パルス光ビームのスペクトルフィーチャ計測 2022年 4月12日
特許 7044894 パルス光ビームのスペクトル特性選択及びパルスタイミング制御 2022年 3月30日
特許 7030998 ガス管理システム 2022年 3月 7日
特許 7021243 空間出力からスペクトル形状を回復する装置及び方法 2022年 2月16日

17 件中 1-15 件を表示

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7169359 7165735 7157044 7124211 7109525 7104828 7096891 7095084 7085571 7077243 7065186 7053536 7044894 7030998 7021243

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