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■ 2025年 出願公開件数ランキング 第1346位 16件
(
2024年:第1031位 23件)
■ 2025年 特許取得件数ランキング 第1508位 12件
(
2024年:第909位 25件)
(ランキング更新日:2026年2月20日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 7772679 | 放電チャンバのための電極 | 2025年11月18日 | |
| 特許 7762769 | レーザチャンバにおける放電性能を調整する装置 | 2025年10月30日 | |
| 特許 7734792 | 中心波長を制御するためのシステム及び方法 | 2025年 9月 5日 | |
| 特許 7700197 | 複数のレーザビームを組み合わせるための装置及びその方法 | 2025年 6月30日 | |
| 特許 7689119 | バースト統計データ集約フィルタ | 2025年 6月 5日 | |
| 特許 7679365 | 光源によって生成される出力光ビームの分光特性の制御 | 2025年 5月19日 | |
| 特許 7678762 | 光源波長を変調するための装置及び方法 | 2025年 5月16日 | |
| 特許 7662744 | 複数の深紫外光発振器のための制御システム | 2025年 4月15日 | |
| 特許 7652947 | DUVレーザアライメントを改善するためのメトロロジ | 2025年 3月27日 | |
| 特許 7644203 | レーザチャンバ内の電極の寿命を延ばす方法及び装置 | 2025年 3月11日 | |
| 特許 7623218 | リソグラフィ光学部品の調節及びモニタリング | 2025年 1月28日 | |
| 特許 7617320 | エタロンでの測定誤差の決定 | 2025年 1月17日 |
12 件中 1-12 件を表示
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7772679 7762769 7734792 7700197 7689119 7679365 7678762 7662744 7652947 7644203 7623218 7617320
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