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サイマー リミテッド ライアビリティ カンパニー

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  2020年 出願公開件数ランキング    第1844位 12件 下降2019年:第1815位 13件)

  2020年 特許取得件数ランキング    第2418位 6件 上昇2019年:第3977位 3件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特表 2020-535392 ガス放電光源におけるフッ素検出 2020年12月 3日
特表 2020-534555 フォトリソグラフィのためのディザ不要な適応ドーズ制御及びロバストドーズ制御の方法 2020年11月26日
特開 2020-173476 光ビームのコヒーレンス量の調整 2020年10月22日
特表 2020-527738 レーザビームのアライメント及び診断のための方法及び装置 2020年 9月10日
特表 2020-526738 フッ素濃度を感知するための装置及び方法 2020年 8月31日
特開 2020-109526 リソグラフィ光学部品の調節及びモニタリング 2020年 7月16日
特表 2020-518126 繰り返し率ベースの利得推定器を用いる改善されたレーザ光エネルギー及びドーズの制御 2020年 6月18日
特表 2020-516861 空間出力からスペクトル形状を回復すること 2020年 6月11日
特表 2020-515055 パルス光ビームのスペクトル特徴制御 2020年 5月21日
特表 2020-507099 エキシマ光源におけるスペックルの低減 2020年 3月 5日
特表 2020-501110 スペクトル特徴計測のための光ビームの均質化 2020年 1月16日
特表 2020-501347 DUV光源におけるパルス毎の波長目標追跡用の波長制御システム 2020年 1月16日

12 件中 1-12 件を表示

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2020-535392 2020-534555 2020-173476 2020-527738 2020-526738 2020-109526 2020-518126 2020-516861 2020-515055 2020-507099 2020-501110 2020-501347

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