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■ 2019年 出願公開件数ランキング 第1815位 13件 (2018年:第4220位 4件)
■ 2019年 特許取得件数ランキング 第3977位 3件 (2018年:第3972位 3件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特表 2019-537833 | パルス光ビームのスペクトルフィーチャの制御 | 2019年12月26日 | |
特表 2019-533825 | ウェーハステージ振動の制御 | 2019年11月21日 | |
特表 2019-532334 | ウェーハベースの光源パラメータ制御 | 2019年11月 7日 | |
特表 2019-532335 | スペクトルフィーチャ制御装置 | 2019年11月 7日 | |
特表 2019-530204 | 光ビームのコヒーレンス量の調整 | 2019年10月17日 | |
特開 2019-179934 | パルス光ビームのスペクトルフィーチャ計測 | 2019年10月17日 | |
特開 2019-179935 | 光源のための波長安定化 | 2019年10月17日 | |
特開 2019-176173 | 光源内の外乱の補償 | 2019年10月10日 | |
特表 2019-523434 | リソグラフィ光学部品の調節及びモニタリング | 2019年 8月22日 | |
特開 2019-91064 | ウェーハベースの光源パラメータ制御 | 2019年 6月13日 | |
特表 2019-509626 | ガス放電光源におけるガス最適化 | 2019年 4月 4日 | |
特表 2019-505981 | 繰り返し率依存の性能変数のオンライン較正 | 2019年 2月28日 | |
特表 2019-501532 | ガス放電光源におけるガス混合物制御 | 2019年 1月17日 |
13 件中 1-13 件を表示
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2019-537833 2019-533825 2019-532334 2019-532335 2019-530204 2019-179934 2019-179935 2019-176173 2019-523434 2019-91064 2019-509626 2019-505981 2019-501532
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11月22日(金) -
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11月22日(金) -
11月22日(金) - 大阪 大阪市
11月22日(金) -
11月22日(金) -
11月25日(月) -
11月25日(月) - 岐阜 各務原市
11月26日(火) -
11月26日(火) - 東京 港区
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月27日(水) - 東京 港区
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月28日(木) - 東京 港区
11月28日(木) - 島根 松江市
11月28日(木) - 京都 京都市
11月28日(木) -
11月28日(木) - 大阪 大阪市
11月28日(木) -
11月29日(金) - 東京 港区
11月29日(金) - 茨城 ひたちなか市
11月30日(土) -
12月1日(日) -
12月1日(日) -
11月25日(月) -
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