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株式会社東京精密

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  2012年 出願公開件数ランキング    第679位 46件 上昇2011年:第1015位 27件)

  2012年 特許取得件数ランキング    第616位 53件 下降2011年:第545位 58件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5106121 加工システム、接触検出方法及びAE接触検出装置 2012年12月26日
特許 5098665 レーザー加工装置およびレーザー加工方法 2012年12月12日
特許 5094554 搬送パッドのクリーニング機構 2012年12月12日
特許 5082066 電解加工方法並びに電解加工装置 2012年11月28日 共同出願
特許 5080930 ウェーハ研磨装置 2012年11月21日
特許 5080769 研磨方法及び研磨装置 2012年11月21日
特許 5068957 CMP研磨装置における研磨ヘッド 2012年11月 7日
特許 5057892 トルク変化を利用した研磨終端時点検知方法及びその装置 2012年10月24日
特許 5036420 表面形状測定装置及び異常検出方法 2012年 9月26日
特許 5025545 ウェーハの位置決め検出装置および位置決め方法 2012年 9月12日
特許 5014483 フィルム剥離方法およびフィルム剥離装置 2012年 8月29日
特許 5014152 真円度測定装置及び先端子良否判定方法 2012年 8月29日
特許 5013148 ワーク分割装置及びワーク分割方法 2012年 8月29日
特許 5004686 プローバおよびプローバのウエハチャック温度制御方法 2012年 8月22日
特許 5003926 切削装置 2012年 8月22日

53 件中 1-15 件を表示

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5106121 5098665 5094554 5082066 5080930 5080769 5068957 5057892 5036420 5025545 5014483 5014152 5013148 5004686 5003926

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