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株式会社東京精密

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  2018年 出願公開件数ランキング    第287位 137件 下降2017年:第277位 167件)

  2018年 特許取得件数ランキング    第319位 90件 上昇2017年:第340位 83件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6432802 レーザ周波数安定化方法及びその装置 2018年12月 5日
特許 6434113 ワーク加工装置及びワーク加工方法 2018年12月 5日
特許 6429084 ウエハ搭載台の温度制御装置及び温度制御方法並びにプローバ 2018年11月28日
特許 6425009 三次元測定機、及びこれを用いた形状測定方法 2018年11月21日
特許 6425027 プローバ及びウエハチャック温度測定方法 2018年11月21日
特許 6425074 形状測定機及び形状測定方法 2018年11月21日
特許 6427320 ウエハ研削装置及びウエハ製造方法 2018年11月21日
特許 6427445 真空保持装置及びこれを用いた半導体ウェーハ研磨装置 2018年11月21日
特許 6427654 半導体の製造方法及び半導体製造装置 2018年11月21日
特許 6421658 ブレード自動交換装置及びブレード自動交換方法 2018年11月14日
特許 6417645 表面形状測定装置のアライメント方法 2018年11月 7日
特許 6418030 カーフ深さ測定装置 2018年11月 7日
特許 6418394 プローバ及びプローブカードのプリヒート方法 2018年11月 7日
特許 6420181 洗浄装置 2018年11月 7日
特許 6414995 ワーク分割装置及びワーク分割方法 2018年10月31日

92 件中 1-15 件を表示

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6432802 6434113 6429084 6425009 6425027 6425074 6427320 6427445 6427654 6421658 6417645 6418030 6418394 6420181 6414995

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