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■ 2018年 出願公開件数ランキング 第287位 137件
(2017年:第277位 167件)
■ 2018年 特許取得件数ランキング 第319位 90件
(2017年:第340位 83件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6432802 | レーザ周波数安定化方法及びその装置 | 2018年12月 5日 | |
特許 6434113 | ワーク加工装置及びワーク加工方法 | 2018年12月 5日 | |
特許 6429084 | ウエハ搭載台の温度制御装置及び温度制御方法並びにプローバ | 2018年11月28日 | |
特許 6425009 | 三次元測定機、及びこれを用いた形状測定方法 | 2018年11月21日 | |
特許 6425027 | プローバ及びウエハチャック温度測定方法 | 2018年11月21日 | |
特許 6425074 | 形状測定機及び形状測定方法 | 2018年11月21日 | |
特許 6427320 | ウエハ研削装置及びウエハ製造方法 | 2018年11月21日 | |
特許 6427445 | 真空保持装置及びこれを用いた半導体ウェーハ研磨装置 | 2018年11月21日 | |
特許 6427654 | 半導体の製造方法及び半導体製造装置 | 2018年11月21日 | |
特許 6421658 | ブレード自動交換装置及びブレード自動交換方法 | 2018年11月14日 | |
特許 6417645 | 表面形状測定装置のアライメント方法 | 2018年11月 7日 | |
特許 6418030 | カーフ深さ測定装置 | 2018年11月 7日 | |
特許 6418394 | プローバ及びプローブカードのプリヒート方法 | 2018年11月 7日 | |
特許 6420181 | 洗浄装置 | 2018年11月 7日 | |
特許 6414995 | ワーク分割装置及びワーク分割方法 | 2018年10月31日 |
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6432802 6434113 6429084 6425009 6425027 6425074 6427320 6427445 6427654 6421658 6417645 6418030 6418394 6420181 6414995
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