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■ 2013年 出願公開件数ランキング 第715位 47件
(2012年:第679位 46件)
■ 2013年 特許取得件数ランキング 第547位 63件
(2012年:第616位 53件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5377871 | 研磨終了時点の予測・検出方法とその装置 | 2013年12月25日 | |
特許 5377872 | 研磨終了時点の予測・検出方法とその装置 | 2013年12月25日 | |
特許 5377873 | ウェーハ研磨装置及び該研磨装置を用いたウェーハ研磨方法 | 2013年12月25日 | |
特許 5361300 | 研磨終点の予測及び検出方法とその装置 | 2013年12月 4日 | |
特許 5361299 | 研磨終了予測・検出方法とその装置 | 2013年12月 4日 | |
特許 5361200 | バンプが形成されたウェーハを処理するウェーハ処理方法 | 2013年12月 4日 | |
特許 5354321 | リニアモータ式移動軸の手動送り機構 | 2013年11月27日 | |
特許 5355766 | 研削装置 | 2013年11月27日 | |
特許 5354149 | エキスパンド方法 | 2013年11月27日 | |
特許 5348976 | バンプが形成されたウェーハを処理するウェーハ処理方法およびウェーハ処理装置 | 2013年11月20日 | |
特許 5338250 | ワーク分離方法及び切削加工装置 | 2013年11月13日 | |
特許 5338249 | 切削加工方法 | 2013年11月13日 | |
特許 5339791 | 研磨終点検出方法及び研磨装置 | 2013年11月13日 | |
特許 5339859 | 研磨終了時点の検出方法及び検出装置 | 2013年11月13日 | |
特許 5326181 | ダイシング装置 | 2013年10月30日 |
63 件中 1-15 件を表示
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5377871 5377872 5377873 5361300 5361299 5361200 5354321 5355766 5354149 5348976 5338250 5338249 5339791 5339859 5326181
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