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株式会社東京精密

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  2013年 特許取得件数ランキング    第547位 63件 上昇2012年:第616位 53件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5377871 研磨終了時点の予測・検出方法とその装置 2013年12月25日
特許 5377872 研磨終了時点の予測・検出方法とその装置 2013年12月25日
特許 5377873 ウェーハ研磨装置及び該研磨装置を用いたウェーハ研磨方法 2013年12月25日
特許 5361300 研磨終点の予測及び検出方法とその装置 2013年12月 4日
特許 5361299 研磨終了予測・検出方法とその装置 2013年12月 4日
特許 5361200 バンプが形成されたウェーハを処理するウェーハ処理方法 2013年12月 4日
特許 5354321 リニアモータ式移動軸の手動送り機構 2013年11月27日
特許 5355766 研削装置 2013年11月27日
特許 5354149 エキスパンド方法 2013年11月27日
特許 5348976 バンプが形成されたウェーハを処理するウェーハ処理方法およびウェーハ処理装置 2013年11月20日
特許 5338250 ワーク分離方法及び切削加工装置 2013年11月13日
特許 5338249 切削加工方法 2013年11月13日
特許 5339791 研磨終点検出方法及び研磨装置 2013年11月13日
特許 5339859 研磨終了時点の検出方法及び検出装置 2013年11月13日
特許 5326181 ダイシング装置 2013年10月30日

63 件中 1-15 件を表示

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5377871 5377872 5377873 5361300 5361299 5361200 5354321 5355766 5354149 5348976 5338250 5338249 5339791 5339859 5326181

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