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株式会社東京精密

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  2013年 出願公開件数ランキング    第715位 47件 下降2012年:第679位 46件)

  2013年 特許取得件数ランキング    第547位 63件 上昇2012年:第616位 53件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5328215 加工完了判定装置、加工装置及び加工完了判定方法 2013年10月30日
特許 5322402 形状測定装置及び形状測定方法 2013年10月23日
特許 5321813 面取り加工装置及び面取り加工方法 2013年10月23日
特許 5312032 表面形状測定装置及び表面形状測定方法 2013年10月 9日
特許 5311858 ウェーハの研削方法並びにウェーハ研削装置 2013年10月 9日
特許 5301061 輪郭形状表面粗さ測定装置および輪郭形状表面粗さ測定方法 2013年 9月25日
特許 5300234 圧力分布調整機能を有する研磨装置 2013年 9月25日
特許 5287273 ウェーハマウント方法及びウェーハマウント装置 2013年 9月11日
特許 5274105 研磨終点検出方法 2013年 8月28日
特許 5274161 ウェーハ収納リンス装置、ウェーハ収納リンス方法、及びウェーハ研磨装置 2013年 8月28日
特許 5265029 真円度測定装置及び先端子良否判定方法 2013年 8月14日
特許 5252332 ダイシング装置、ダイシング装置ユニット、及びダイシング方法 2013年 7月31日
特許 5247243 ウェーハ収納装置、ウェーハ収納方法、及びウェーハ研磨装置 2013年 7月24日
特許 5241399 研磨終了予測・検出方法およびその装置 2013年 7月17日
特許 5241321 ウェーハの研磨状態モニタ方法並びに研磨状態モニタ装置 2013年 7月17日

63 件中 16-30 件を表示

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5328215 5322402 5321813 5312032 5311858 5301061 5300234 5287273 5274105 5274161 5265029 5252332 5247243 5241399 5241321

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