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株式会社東京精密

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  2013年 出願公開件数ランキング    第715位 47件 下降2012年:第679位 46件)

  2013年 特許取得件数ランキング    第547位 63件 上昇2012年:第616位 53件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5187505 ダイシング方法 2013年 4月24日
特許 5187607 角度測定方法及び角度測定システム 2013年 4月24日
特許 5183169 ウェーハ処理装置 2013年 4月17日
特許 5182653 ダイシング方法 2013年 4月17日
特許 5168985 測定ヘッド調整装置 2013年 3月27日
特許 5158449 測定用アーム移動装置 2013年 3月 6日
特許 5158680 研磨終了時点の予測方法 2013年 3月 6日
特許 5159399 接触検出装置、加工装置及び接触検出方法 2013年 3月 6日
特許 5148206 電解加工方法並びに電解加工装置 2013年 2月20日 共同出願
特許 5147425 ウェーハ用テーブル、表面保護フィルム剥離装置および表面保護フィルム剥離方法 2013年 2月20日
特許 5147192 プローバにおけるウエハ保持方法、プローバ及び高熱伝導性シート 2013年 2月20日
特許 5131564 レーザーダイシング装置及びダイシング方法 2013年 1月30日
特許 5121322 プローバおよびプローバのウエハチャックの温度制御方法 2013年 1月16日
特許 5119614 ウェーハ外周部研削方法 2013年 1月16日
特許 5121756 パッドドレッシング装置 2013年 1月16日

63 件中 46-60 件を表示

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5187505 5187607 5183169 5182653 5168985 5158449 5158680 5159399 5148206 5147425 5147192 5131564 5121322 5119614 5121756

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