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■ 2011年 出願公開件数ランキング 第971位 29件 (2010年:第1125位 27件)
■ 2011年 特許取得件数ランキング 第886位 31件 (2010年:第1872位 10件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2011-124500 | 露光方法及び露光装置 | 2011年 6月23日 | |
特開 2011-120993 | 基板用異物除去装置及び基板用異物除去方法 | 2011年 6月23日 | |
特開 2011-118155 | 露光装置 | 2011年 6月16日 | |
特開 2011-116072 | スタンプ作製方法及びスタンプ作製装置 | 2011年 6月16日 | |
特開 2011-100779 | 半導体装置及びその製造方法 | 2011年 5月19日 | |
特開 2011-100838 | 低温ポリシリコン膜の形成装置及び方法 | 2011年 5月19日 | |
特開 2011-91177 | レーザ露光装置 | 2011年 5月 6日 | |
特開 2011-88179 | レーザ加工装置 | 2011年 5月 6日 | |
特開 2011-70197 | パターン生成方法及びパターン生成装置並びにレーザ加工装置 | 2011年 4月 7日 | |
特開 2011-60587 | 光源装置 | 2011年 3月24日 | |
特開 2011-49489 | 半導体装置及びその製造方法 | 2011年 3月10日 | |
特開 2011-29411 | 薄膜トランジスタ、その製造方法及び液晶表示装置 | 2011年 2月10日 | |
特開 2011-8180 | アライメント方法、アライメント装置及び露光装置 | 2011年 1月13日 | |
特開 2011-2475 | アライメント方法、アライメント装置及び露光装置 | 2011年 1月 6日 |
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2011-124500 2011-120993 2011-118155 2011-116072 2011-100779 2011-100838 2011-91177 2011-88179 2011-70197 2011-60587 2011-49489 2011-29411 2011-8180 2011-2475
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11月26日(火) -
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11月26日(火) -
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