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■ 2012年 出願公開件数ランキング 第528位 66件
(2011年:第971位 29件)
■ 2012年 特許取得件数ランキング 第1187位 23件
(2011年:第886位 31件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特開 2012-145613 | 露光装置 | 2012年 8月 2日 | |
特開 2012-141367 | 露光装置、偏光変換部材及び露光方法 | 2012年 7月26日 | |
特開 2012-128193 | マイクロレンズアレイ及びそれを使用したスキャン露光装置 | 2012年 7月 5日 | |
特開 2012-128187 | 露光装置、露光用マスク | 2012年 7月 5日 | |
特開 2012-129365 | 露光装置及びこの露光装置を使用した露光方法 | 2012年 7月 5日 | |
特開 2012-124366 | レーザアニール装置及びレーザアニール方法 | 2012年 6月28日 | |
特開 2012-104723 | 露光装置 | 2012年 5月31日 | |
特開 2012-104679 | 露光装置 | 2012年 5月31日 | |
特開 2012-103562 | 露光方法及び露光位置の確認方法 | 2012年 5月31日 | |
特開 2012-103361 | 露光装置 | 2012年 5月31日 | |
特開 2012-103500 | フィルム露光方法 | 2012年 5月31日 | |
特開 2012-103366 | 露光装置 | 2012年 5月31日 | |
再表 2010-70988 | 凸状パターン形成方法、露光装置及びフォトマスク | 2012年 5月24日 | |
特開 2012-98420 | マイクロレンズアレイを使用したスキャン露光装置 | 2012年 5月24日 | |
特開 2012-91074 | マイクロディスペンサ及びマイクロディスペンサへの薬液充填方法 | 2012年 5月17日 |
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2012-145613 2012-141367 2012-128193 2012-128187 2012-129365 2012-124366 2012-104723 2012-104679 2012-103562 2012-103361 2012-103500 2012-103366 2010-70988 2012-98420 2012-91074
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