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■ 2012年 出願公開件数ランキング 第347位 119件
(2011年:第260位 156件)
■ 2012年 特許取得件数ランキング 第926位 32件
(2011年:第403位 82件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
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再表 2010-110123 | 基板処理方法および結晶性炭化ケイ素(SiC)基板の製造方法 | 2012年 9月27日 | |
再表 2010-100710 | 基板処理装置、磁気デバイスの製造装置及び製造方法 | 2012年 9月 6日 | |
再表 2010-98121 | 誘電体ならびに半導体装置の製造方法、プログラム、および、記録媒体 | 2012年 8月30日 | |
再表 2010-90127 | プラズマ処理装置、プラズマ処理方法、および被処理基板を備える素子の製造方法 | 2012年 8月 9日 | |
特開 2012-149338 | 磁石ユニットおよびマグネトロンスパッタリング装置 | 2012年 8月 9日 | |
特開 2012-149339 | スパッタリング装置、及び電子デバイスの製造方法 | 2012年 8月 9日 | |
特開 2012-149340 | スパッタリング装置 | 2012年 8月 9日 | |
特開 2012-151447 | 基板処理方法、基板処理装置 | 2012年 8月 9日 | |
特開 2012-142331 | 基板の搬送装置 | 2012年 7月26日 | |
特開 2012-140648 | スパッタリング装置及びそのスパッタリング方法 | 2012年 7月26日 | |
特開 2012-142398 | イオンビームエッチング装置、方法及び制御装置 | 2012年 7月26日 | |
特開 2012-142332 | 電子部品の製造方法 | 2012年 7月26日 | |
特開 2012-142333 | 基板熱処理装置 | 2012年 7月26日 | |
特開 2012-142397 | 基板処理システム、プロセスモジュール制御装置、基板処理装置及び基板処理プログラム | 2012年 7月26日 | |
特開 2012-140672 | スパッタリング装置 | 2012年 7月26日 |
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2010-110123 2010-100710 2010-98121 2010-90127 2012-149338 2012-149339 2012-149340 2012-151447 2012-142331 2012-140648 2012-142398 2012-142332 2012-142333 2012-142397 2012-140672
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