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キヤノンアネルバ株式会社

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  2012年 出願公開件数ランキング    第347位 119件 下降2011年:第260位 156件)

  2012年 特許取得件数ランキング    第926位 32件 下降2011年:第403位 82件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5069255 スパッタリング装置及びスパッタリング方法 2012年11月 7日
特許 5037630 プラズマ処理装置 2012年10月 3日
特許 5038117 トンネル型磁気抵抗多層膜製造方法 2012年10月 3日
特許 5042277 基板処理装置及び搬送方法、並びに真空処理方法 2012年10月 3日
特許 5037242 半導体素子の製造方法 2012年 9月26日
特許 5028142 クライオトラップ 2012年 9月19日
特許 5021112 真空処理装置 2012年 9月 5日
特許 5004565 薄膜作製装置 2012年 8月22日
特許 5006415 酸化膜除去のための基板洗浄処理方法 2012年 8月22日
特許 5006938 表面処理装置およびその基板処理方法 2012年 8月22日
特許 4988785 基板の製造方法 2012年 8月 1日
特許 4981046 プラズマ成膜装置及び膜の製造法 2012年 7月18日
特許 4964280 情報記録ディスク用成膜装置、及び、情報記録ディスクの製造方法 2012年 6月27日
特許 4926233 複合型真空計 2012年 5月 9日
特許 4927642 二段式冷凍機の運転制御方法、二段式冷凍機を用いたクライオポンプの運転制御方法、二段式冷凍機及びクライオポンプ 2012年 5月 9日

32 件中 1-15 件を表示

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5069255 5037630 5038117 5042277 5037242 5028142 5021112 5004565 5006415 5006938 4988785 4981046 4964280 4926233 4927642

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