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キヤノンアネルバ株式会社

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  2011年 出願公開件数ランキング    第260位 156件 上昇2010年:第335位 133件)

  2011年 特許取得件数ランキング    第403位 82件 下降2010年:第188位 176件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2011-181756 マイクロ波素子 2011年 9月15日 共同出願
特開 2011-179531 蓋開閉装置及び真空装置 2011年 9月15日
特開 2011-179020 基板処理装置及び表示用素子の製造方法 2011年 9月15日
特開 2011-174900 複合型圧力計、及び複合型圧力計の製造方法 2011年 9月 8日
特開 2011-174376 クライオポンプ/トラップシステム、及び、これを搭載した真空処理装置 2011年 9月 8日
特開 2011-168844 スパッタリング装置 2011年 9月 1日
特開 2011-159279 真空処理装置及びPLCでのパラメータ処理方法 2011年 8月18日
特開 2011-153374 金属膜を埋め込む工程を有する電子部品の製造方法 2011年 8月11日
特開 2011-153373 薄膜形成装置、薄膜形成方法およびシールド部品 2011年 8月11日
特開 2011-155106 真空処理装置及び基板搬送機構の調整方法 2011年 8月11日
特開 2011-149929 リークチェック方法 2011年 8月 4日
特開 2011-149094 成膜装置及びクリーニング方法 2011年 8月 4日
特開 2011-149091 反応性スパッタリング方法及び反応性スパッタリング装置 2011年 8月 4日
特開 2011-149100 冷却装置 2011年 8月 4日
特開 2011-149086 スパッタリング装置及び電子デバイスの製造方法 2011年 8月 4日

156 件中 31-45 件を表示

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2011-181756 2011-179531 2011-179020 2011-174900 2011-174376 2011-168844 2011-159279 2011-153374 2011-153373 2011-155106 2011-149929 2011-149094 2011-149091 2011-149100 2011-149086

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