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キヤノンアネルバ株式会社

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 4845455 薄膜作製装置及び薄膜作製方法 2011年12月28日
特許 4838357 真空搬送装置 2011年12月14日
特許 4837189 基板保持機構及び基板処理装置 2011年12月14日
特許 4833088 高温リフロースパッタリング装置 2011年12月 7日
特許 4833014 高温リフロースパッタリング装置 2011年12月 7日
特許 4801709 CVD装置を用いた成膜方法 2011年10月26日 共同出願
特許 4794559 真空処理装置および半導体デバイス製造方法 2011年10月19日
特許 4796154 電子銃蒸着装置及び電子銃蒸着装置を用いた成膜方法 2011年10月19日
特許 4791637 CVD装置とこれを用いた処理方法 2011年10月12日
特許 4792060 マグネトロンスパッタリング装置及び薄膜の製造法 2011年10月12日
特許 4792132 誘電体ならびに半導体装置の製造方法、プログラム、および、記録媒体 2011年10月12日
特許 4791520 クライオポンプ装置、真空処理装置及びクライオポンプ装置の動作方法 2011年10月12日
特許 4782037 磁気抵抗効果素子の製造方法及び製造装置 2011年 9月28日
特許 4776239 液剤注入方法及び液剤注入装置 2011年 9月21日
特許 4776061 薄膜形成装置 2011年 9月21日

82 件中 1-15 件を表示

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4845455 4838357 4837189 4833088 4833014 4801709 4794559 4796154 4791637 4792060 4792132 4791520 4782037 4776239 4776061

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