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キヤノンアネルバ株式会社

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  2012年 出願公開件数ランキング    第347位 119件 下降2011年:第260位 156件)

  2012年 特許取得件数ランキング    第926位 32件 下降2011年:第403位 82件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2012-136757 真空装置用部品および、それを備えた成膜装置 2012年 7月19日
特開 2012-136756 スパッタリング方法 2012年 7月19日
特開 2012-136721 真空処理装置 2012年 7月19日
特開 2012-136320 搬送装置及び真空処理装置 2012年 7月19日
再表 2010-84909 磁性膜加工チャンバのクリーニング方法、磁性素子の製造方法、および基板処理装置 2012年 7月19日
特開 2012-138411 プラズマ処理装置 2012年 7月19日
特開 2012-136758 基板処理装置 2012年 7月19日
特開 2012-136774 成膜装置 2012年 7月19日
特開 2012-138522 基板搬送装置及び真空処理装置 2012年 7月19日
特開 2012-138524 基板搬送装置及び真空処理装置 2012年 7月19日
特開 2012-132039 スパッタリング装置およびスパッタリング方法 2012年 7月12日
特開 2012-130873 真空容器、及び、真空容器を備える真空処理装置 2012年 7月12日
特開 2012-132075 真空処理装置、及び、それを用いた処理方法 2012年 7月12日
特開 2012-134370 チャンバ、真空処理装置、基板移載方法 2012年 7月12日
特開 2012-131585 搬送機構、及び、それを備えた真空処理装置 2012年 7月12日

119 件中 31-45 件を表示

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2012-136757 2012-136756 2012-136721 2012-136320 2010-84909 2012-138411 2012-136758 2012-136774 2012-138522 2012-138524 2012-132039 2012-130873 2012-132075 2012-134370 2012-131585

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