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■ 2012年 出願公開件数ランキング 第347位 119件
(2011年:第260位 156件)
■ 2012年 特許取得件数ランキング 第926位 32件
(2011年:第403位 82件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特開 2012-136757 | 真空装置用部品および、それを備えた成膜装置 | 2012年 7月19日 | |
特開 2012-136756 | スパッタリング方法 | 2012年 7月19日 | |
特開 2012-136721 | 真空処理装置 | 2012年 7月19日 | |
特開 2012-136320 | 搬送装置及び真空処理装置 | 2012年 7月19日 | |
再表 2010-84909 | 磁性膜加工チャンバのクリーニング方法、磁性素子の製造方法、および基板処理装置 | 2012年 7月19日 | |
特開 2012-138411 | プラズマ処理装置 | 2012年 7月19日 | |
特開 2012-136758 | 基板処理装置 | 2012年 7月19日 | |
特開 2012-136774 | 成膜装置 | 2012年 7月19日 | |
特開 2012-138522 | 基板搬送装置及び真空処理装置 | 2012年 7月19日 | |
特開 2012-138524 | 基板搬送装置及び真空処理装置 | 2012年 7月19日 | |
特開 2012-132039 | スパッタリング装置およびスパッタリング方法 | 2012年 7月12日 | |
特開 2012-130873 | 真空容器、及び、真空容器を備える真空処理装置 | 2012年 7月12日 | |
特開 2012-132075 | 真空処理装置、及び、それを用いた処理方法 | 2012年 7月12日 | |
特開 2012-134370 | チャンバ、真空処理装置、基板移載方法 | 2012年 7月12日 | |
特開 2012-131585 | 搬送機構、及び、それを備えた真空処理装置 | 2012年 7月12日 |
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2012-136757 2012-136756 2012-136721 2012-136320 2010-84909 2012-138411 2012-136758 2012-136774 2012-138522 2012-138524 2012-132039 2012-130873 2012-132075 2012-134370 2012-131585
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